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光学微电子净化工程洁净车间技术探讨

发布时间:2021-11-27人气:61


光学微电子净化工程,定义为将一定空间范围内空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计的密闭空间。

 

  光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化的需求更为迫切。如超大型积体电路的研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项。

光学微电子净化工程一般包括:

1. 洁净生产区

2.洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3.管理区(包括办公、值班、管理和休息)

4.设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

 

洁净车间所需材料

1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝制造。

2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。


 

光学微电子净化工程解决方案:

组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口。

组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

 

优点:

A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;

B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;

D.维修频率较低;

E.车间的噪音低。

 

 

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